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ITO綁定臺
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一、靶材綁定的方式
靶材綁定的方式主要有三種，壓接、釬焊和導電膠。
1、壓接：采用壓條, 一般為了提高接觸的良好性，會增加石墨紙、Pb或In皮。
2、釬焊：一般使用軟釬料的情況下，釬料常用In、Sn、In-Sn，要求濺射功率小于20W/cm2。
3、導電膠：采用的導電膠要耐高溫，厚度在0.02-0 05微米。
二、靶材綁定的作用
1、防止靶材受熱不勻碎裂。例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結(jié)靶材受熱容易碎裂；
2、節(jié)省成本，防止變形。如靶材太貴，可將靶材做薄些，綁定背靶以防止變形。
三、靶材綁定的流程
1、綁定前將靶材和背靶表面預處理；
2、將背靶固定放置在加熱臺上，將靶材放于背板上，升溫到綁定溫度；
3、將靶材和背靶金屬化，通過釬焊將靶材貼合在銅背板上；
4、粘接靶材和背靶，靶材的遠離銅背板的表面上放置配重塊，待靶材冷卻后取下配重塊步驟；
5、降溫和后處理。
四、靶材綁定的范圍
技術上來說表面平整可進行金屬化處理的靶材都可以用釬焊綁定技術綁定銅背靶，來提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率。建議綁定的靶材： ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材； 錫、銦等軟金屬靶；靶材太薄、靶材太貴的情況等。但下列情況綁定有弊端：
1、熔點低的靶材，像銦、硒等，金屬化的時候可能會變軟變形；
2、貴金屬靶材，一是實際重量易出現(xiàn)分歧，二是金屬化以及解綁的時候都會有浪費料，建議墊一片銅片。
五、綁定靶材的使用注意事項
1、濺射溫度不宜太高；
2、電流要緩慢加大；
3、循環(huán)冷卻水應低于35攝氏度；
4、適宜的靶材致密度。
六、背靶的選擇
1、對材質(zhì)的要求：一般選用無氧銅和鉬靶。
2、導電性好，常用無氧銅，無氧銅的導熱性比紫銅好；
3、厚度適中，般建議背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁強；太薄，容易變形。
4、結(jié)構要求空心或者實心結(jié)構。
5、強度足夠，太薄，易變形，不易真空密封。
七、背靶脫落的原因
1、濺射溫度高，背靶易被氧化和發(fā)生翹曲，靶材在高溫濺射時會開裂，造成背靶脫落；
2、電流太大，導熱太快造成溫度過高，焊料熔化，造成焊料不均勻，造成背靶脫落；
3、循環(huán)冷卻水出水口的溫度應低于35攝氏度，循環(huán)水溫度高，造成散熱不好而脫落；
4、靶材本身的致密度，靶材的致密度很高時，不易吸附，無空隙，背靶易脫落。
以上是關于什么是靶材綁定的回答，簡單說，靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。方式主要有壓接、釬焊和導電膠三種方式。靶材綁定的作用是防止靶材受熱不勻碎裂，防止變形。另外還補充了綁定的流程、范圍等內(nèi)容，希望能讓大家更好的了解靶材綁定。躍邦自動化設備有限公司專注于濺射靶材研發(fā)、生產(chǎn)十余年，靶材組織結(jié)構均勻細小、性能穩(wěn)定一致、濺射成膜性能優(yōu)異，有需要的朋友，歡迎留言或致電躍邦詳詢~
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